La Espectroscopia de energía dispersiva de rayos X (EDX) se utiliza para determinar la composición de una muestra como las películas delgadas. No sólo se pueden medir las cantidades relativas de cada átomo, sino que se puede mapear la distribución de los átomos en nuestras muestras.
Picos que muestran la composición elemental de la muestra en un SEM
El EDX es una extensión del Microscopio Electrónico de Barrido Sirion en la Instalación de Análisis Molecular, asegúrese de ver nuestros vídeos de SEM antes de continuar.
¿Cómo determina el EDX la composición o, en otras palabras, cómo diferencia los átomos? En general, los átomos están compuestos por núcleos (protones y neutrones) con electrones que orbitan a su alrededor en diferentes niveles de energía. Durante el funcionamiento del MEB, un haz de electrones de alta energía incide sobre la muestra. Algunos de estos electrones colisionan con electrones que residen en niveles de energía más bajos, y ambos se dispersan y abandonan el átomo. Como resultado, un electrón situado en un nivel de energía más alto ve la vacante y salta ante la oportunidad de residir en un nivel de energía más bajo. Cuando el electrón se desplaza a este nivel de energía inferior, libera energía, concretamente, rayos X. Como estas transiciones de electrones son características del elemento específico, la energía de estas emisiones de rayos X también es característica del elemento. También verá que son posibles múltiples transiciones de electrones para un átomo porque los electrones pueden caer desde diferentes niveles elevados.