Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX) wordt gebruikt om de samenstelling van een monster, zoals dunne films, te bepalen. Niet alleen kunnen relatieve hoeveelheden van elk atoom worden gemeten, maar ook de verdeling van de atomen in onze monsters kan in kaart worden gebracht.
Pieken die elementaire samenstelling van monster in een SEM laten zien
EDX is een uitbreiding van de Sirion Scanning Electron Microscope in de Molecular Analysis Facility, bekijk eerst onze SEM-video’s voordat u verder gaat.
Hoe bepaalt EDX de samenstelling, of, met andere woorden, maakt het onderscheid tussen atomen? In het algemeen zijn atomen opgebouwd uit kernen (protonen en neutronen) met elektronen die er op verschillende energieniveaus omheen draaien. Tijdens de SEM-operatie valt een hoogenergetische elektronenbundel op het monster. Sommige van deze elektronen botsen met elektronen die zich op lagere energieniveaus bevinden, en beide verstrooien en verlaten het atoom. Het resultaat is dat een elektron dat zich op een hoger energieniveau bevindt, de vacature ziet en de kans grijpt om zich op een lager energieniveau te vestigen. Wanneer het elektron naar dit lagere energieniveau beweegt, geeft het energie af – meer bepaald röntgenstraling. Omdat deze elektronenovergangen kenmerkend zijn voor het specifieke element, is de energie van deze röntgenstraling ook kenmerkend voor het element. Je zult ook zien dat meerdere elektronenovergangen voor een atoom mogelijk zijn, omdat elektronen uit verschillende hoge niveaus kunnen vallen.