La spettroscopia a raggi X a dispersione di energia (EDX) è usata per determinare la composizione di un campione come i film sottili. Non solo si possono misurare le quantità relative di ogni atomo, ma si può anche mappare la distribuzione degli atomi nei nostri campioni.
Picchi che mostrano la composizione elementare del campione in un SEM
EDX è un’estensione del Sirion Scanning Electron Microscope nella Molecular Analysis Facility, assicurati di guardare i nostri video SEM prima di continuare.
Come fa EDX a determinare la composizione o, in altre parole, a differenziare gli atomi? In generale, gli atomi sono composti da nuclei (protoni e neutroni) con elettroni che orbitano intorno ad essi a diversi livelli di energia. Durante il funzionamento del SEM, un fascio di elettroni ad alta energia colpisce il campione. Alcuni di questi elettroni si scontrano con elettroni che risiedono a livelli di energia inferiori, ed entrambi si disperdono e lasciano l’atomo. Di conseguenza, un elettrone situato ad un livello di energia superiore vede il posto vacante e coglie l’opportunità di risiedere ad un livello di energia inferiore. Quando l’elettrone si sposta a questo livello energetico inferiore, rilascia energia – in particolare, raggi X. Poiché queste transizioni di elettroni sono caratteristiche dell’elemento specifico, anche l’energia di queste emissioni di raggi X è caratteristica dell’elemento. Vedrai anche che sono possibili più transizioni elettroniche per un atomo perché gli elettroni possono cadere da diversi livelli elevati.