<加速度センサー>

加速度センサーとは

加速度センサーは、単位時間あたりの速度(速度)の変化である加速度を測定するICです。
加速度を測定することで、物体の傾きや振動などの情報を得ることができます。
加速度の国際単位(SI*)はM/s2です。

また、加速度の単位としては、標準重力(1g=9.80665m/s2)に対するgも使用されます。
その他の単位としては、地震の加速度を測定するためのGal(CGS)などがあります。

*SI: International System of Units (Système international d’unités)
長さ(m)、質量(kg)、時間(s)の単位で表される国際単位。

*Standard Gravity
重力による物体の加速度。 物体を落としたときの単位時間当たりの加速度(9.80665m/s2)を表す。

※Gal
加速度の単位はCGS系(長さcm、質量g、時間s)。 SIシステムの1/100(1Gal=0.01m/s2)と定義されています。
加速度計のセンサーは、一般的に以下のように低g型と高g型に分類されます。

測定範囲による加速度センサの分類

静電容量型加速度センサ

ROHMグループの加速度センサは、MEMS技術を用いて開発された静電容量型で、
センサ素子は、Siで構成された固定電極、作用電極、バネで構成されています。 加速度がない状態では、固定電極と可動電極の距離は同じです。 そこに加速度が加わると、可動電極が変位します。 これにより、固定電極との位置関係が変化し、電極間の静電容量が変化します。

alt この静電容量の変化をASIC*で電圧に変換し、加速度を算出します。

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